一种高出光效率的垂直型发光二极管制造技术

本发明专利技术公开了一种垂直型发光二极管，所述发光二极管具有底电极，在底电极上具有半球形的第一底透明导电层，在第一底透明导电层的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层，在底粗化层的上表面具有第二底透明导电层；在第二底透明导电层表面上依次具有p型半导体层、半导体发光层以及n型半导体层；在n型半导体层上具有半球形的第一顶透明导电层；在第一顶透明导电层的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层之间具有顶粗化层；在顶粗化层的上表面具有第二顶透明导电层；在第二顶透明导电层的表面上具有顶电极。

【技术实现步骤摘要】
一种高出光效率的垂直型发光二极管
本专利技术属于半导体
，特别涉及一种高出光效率的垂直型发光二极管。
技术介绍
半导体发光二极管(Light Emitting Diode)应用日益广泛，特别是在照明方面有取代白炽灯和荧光灯的趋势。发光二极管是由半导体材料所制成的发光元件，元件具有两个电极端子，在端子间施加电压，通入极小的电流，经由电子电洞的结合可将剩余能量以光的形式激发释出，此即发光二极管的基本发光原理。发光二极管不同于一般白炽灯泡，发光二极管是属冷发光，具有耗电量低、元件寿命长、无须暖灯时间及反应速度快等优点，再加上其体积小、耐震动、适合量产，容易配合应用上的需求制成极小或阵列式的元件，目前发光二极管已普遍使用于资讯、通讯及消费性电子产品的指示器与显示装置上，成为日常生活中不可或缺的重要元件。目前发光二极管还面临一些技术上的问题，特别是光取出效率比较低。这导致了发光二极管的亮度不足等缺陷。针对上述问题，业内已经提出了通过粗化方法来改善发光二极管出光效率的问题，但是现有技术中粗化方法仍然存在缺陷，例如仅对发光二极管进行水平面式粗化，这种粗化方式无法进一步提高粗化面积，因此出光效率无法进一步提高。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的问题，提出了一种高出光效率的垂直型发光二极管，通过增大粗化面积，从而提高发光二极管的出光效率。首先对本专利技术所采用的“上”、“下”进行定义，在本专利技术中，通过参照附图，本专利技术所述的“上”为附图中面向附图时垂直向上的方向。本专利技术所述的“下”为附图中面向附图时垂直向下的方向，本文所述的“厚度”是指面向附图时垂直方向上的距离，本文所述的“宽度”是指面向附图时水平方向上的距离。本专利技术提出的高出光效率的垂直型发光二极管的结构为:在底电极上具有半球形的第一底透明导电层，在第一底透明导电层的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层，在底粗化层的上表面具有第二底透明导电层；在第二底透明导电层表面上依次具有P型半导体层、半导体发光层以及η型半导体层；在η型半导体层上具有半球形的第一顶透明导电层；在第一顶透明导电层的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层之间具有顶粗化层；在顶粗化层的上表面具有第二顶透明导电层；在第二顶透明导电层的表面上具有顶电极；其中，所述底电极和顶电极为导热性能良好的金属材料，例如但不限于:金、银、铜、铝、镍、钛、钴、钯或钼，或者也可以采用金属合金来形成，例如但不限于:金钼合金、银铝合金、镍招合金、镍钛合金等。其中，第一底透明导电层、第二底透明导电层、第一顶透明导电层和第二顶透明导电层为导电性能良好的金属化合物材料，例如但不限于:Z n0、Ni0、Mg0、In203、T i O 2或I TO ;从截面上看，所述半球形的第一底透明电极层和半球形的第一顶透明电极层的球形边缘对齐；进一步的，P型半导体层为P型GaN层或p型AlGaN层，η型半导体层为η型GaN层或η型AlGaN层，半导体发光层为交替形成的超晶格结构的AlxInyGazN/AIxInyGazP多量子阱层，其中 x+y+z=l、并且 0〈x ≤ 0.05、0〈y ≤ 0.05、0〈z ≤ 0.9 ；进一步的，底粗化层和顶粗化层为ITO层，底粗化层均匀覆盖在第一底透明电极层的半球形表面以及半球形的第一底透明导电层之间的区域表面；同样的，顶粗化层均匀覆盖在第一顶透明电极层的半球形表面以及半球形的第一顶透明导电层之间的区域表面；并且底粗化层和顶粗化层的厚度相同，都为60-70nm ；进一步的，半球形的第一底透明导电层的半径为6-9微米，第一底透明导电层两个半球之间的间距为2-3微米；同样的，半球形的第一顶透明导电层的半径为6-9微米，第一顶透明导电层两个半球之间的间距为2-3微米；进一步的，第一底透明导电层的下表面与第二底透明导电层的上表面之间的间距为10-12微米；同样的，第一顶透明导电层的下表面与第二顶透明导电层的上表面之间的间距为10-12微米。【附图说明】图1为本专利技术提出的发光二极管结构示意图。【具体实施方式】实施例1参见图1，本专利技术提出的高出光效率的垂直型发光二极管的结构为:在底电极I上具有半球形的第一底透明导电层21，在第一底透明导电层21的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层2，在底粗化层2的上表面具有第二底透明导电层22 ;在第二底透明导电层22表面上依次具有P型半导体层3、半导体发光层4以及η型半导体层5 ;在η型半导体层5上具有半球形的第一顶透明导电层61 ;在第一顶透明导电层61的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层61之间具有顶粗化层6 ;在顶粗化层6的上表面具有第二顶透明导电层62 ;在第二顶透明导电层62的表面上具有顶电极7 ;其中，所述底电极I和顶电极7为导热性能良好的金属材料，例如但不限于:金、银、铜、铝、镍、钛、钴、钯或钼，或者也可以采用金属合金来形成，例如但不限于:金钼合金、银铝合金、镍铝合金、镍钛合金等。其中，第一底透明导电层21、第二底透明导电层22、第一顶透明导电层61和第二顶透明导电层62为导电性能良好的金属化合物材料，例如但不限于:Zn 0、N i O,Mg0、In20 3、Ti02*IT0;从截面上看，所述半球形的第一底透明电极层21和半球形的第一顶透明电极层61的球形边缘对齐；进一步的，P型半导体层3为P型GaN层或p型AlGaN层，η型半导体层5为η型GaN层或η型AlGaN层，半导体发光层4为交替形成的超晶格结构的AlxInyGazN/AIxInyGazP多量子阱层，其中x+y+z=l、并且0〈x≤0.05、0〈y≤0.05、0〈z ≤ 0.9 ；进一步的，底粗化层2和顶粗化层6为ITO层，底粗化层2均匀覆盖在第一底透明电极层21的半球形表面以及半球形的第一底透明导电层21之间的区域表面；同样的，顶粗化层6均匀覆盖在第一顶透明电极层61的半球形表面以及半球形的第一顶透明导电层61之间的区域表面；并且底粗化层2和顶粗化层6的厚度相同，都为60-70nm ；进一步的，半球形的第一底透明导电层21的半径为6-9微米，第一底透明导电层21两个半球之间的间距为2-3微米；同样的，半球形的第一顶透明导电层61的半径为6-9微米，第一顶透明导电层61两个半球之间的间距为2-3微米；进一步的，第一底透明导电层21的下表面与第二底透明导电层22的上表面之间的间距为10-12微米；同样的，第一顶透明导电层61的下表面与第二顶透明导电层62的上表面之间的间距为10-12微米。实施例2下面介绍本专利技术的优选实施例。参见图1，在底电极I上具有半球形的第一底透明导电层21，在第一底透明导电层21的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层2，在底粗化层2的上表面具有第二底透明导电层22 ;在第二底透明导电层22表面上依次具有P型半导体层3、半导体发光层4以及η型半导体层5 ;在η型半导体层5上具有半球形的第一顶透明导电层61 ;在第一顶透明导电层61的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层61之间具有顶粗化层6 ;在顶粗化层6的上表面具有第二顶透明导电层62 ;在第二顶透明导电层62的表面上具有顶电极7 ;其中，所述底电极I和顶电极7为导热性能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种垂直型发光二极管，其特征在于：所述发光二极管具有底电极，在底电极上具有半球形的第一底透明导电层，在第一底透明导电层的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层，在底粗化层的上表面具有第二底透明导电层；在第二底透明导电层表面上依次具有p型半导体层、半导体发光层以及n型半导体层；在n型半导体层上具有半球形的第一顶透明导电层；在第一顶透明导电层的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层之间具有顶粗化层；在顶粗化层的上表面具有第二顶透明导电层；在第二顶透明导电层的表面上具有顶电极。

【技术特征摘要】
1.一种垂直型发光二极管，其特征在于: 所述发光二极管具有底电极，在底电极上具有半球形的第一底透明导电层，在第一底透明导电层的半球形表面以及半球形第一底透明导电层之间具有底粗化层，在底粗化层的上表面具有第二底透明导电层；在第二底透明导电层表面上依次具有P型半导体层、半导体发光层以及η型半导体层；在η型半导体层上具有半球形的第一顶透明导电层；在第一顶透明导电层的半球形表面以及半球形第一顶透明导电层之间具有顶粗化层；在顶粗化层的上表面具有第二顶透明导电层；在第二顶透明导电层的表面上具有顶电极。2.如权利要求1所述的垂直型发光二极管，其特征在于: 从截面上看，所述半球形的第一底透明电极层和半球形的第一顶透明电极层的球形边缘对齐。3.如权利要求1或2所述的垂直型发光二极管，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：丛国芳，
申请(专利权)人：溧阳市东大技术转移中心有限公司，
类型：发明
国别省市：