【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种WAT测试系统,包括测试条件模块、测试结构模块和测试模块,其特征在于,所述测试系统还包括:查找模块和显示模块;所述测试条件模块和所述测试结构模块中均存储有多个测试结构名称的信息;所述查找模块根据所述测试条件模块中存储的测试结构名称于所述测试结构模块中进行查找操作,并将该查找操作的查找结果信息传送至所述测试模块或者所述显示模块;所述测试模块接收所述查找结果信息并进行WAT测试工艺;所述显示模块接收并显示所述查找结果信息。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周波,莫保章,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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