分离式点胶机构制造技术

本发明专利技术适用于半导体固晶技术领域。本发明专利技术公开一种分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块。工作时，在控制模块的协调控制下，所述Theta运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂在水平面转动的角度进行调整，同时所述Z向运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂上下位置进行调整，通过适当的调节可以使所述摆臂移动至适当位置对键合的晶圆进行点胶。与现有的技术相比，由于其采用上下移动和转动分离，避免点胶摆臂不能同步上下移动和平行移动导致的点胶动作时间长，提高点胶效率，其体积小巧，结构紧凑，维护不便。

【技术实现步骤摘要】
分离式点胶机构
本专利技术涉及半导体固晶
，特别涉及一种分离式点胶机构。
技术介绍
半导体固晶装置在进行作时需要将固晶用的物料通过上料装置输送至相应位置后，将LED晶圆与基板进行键合固定后，再在与基板键合的晶圆上点胶。现有的点胶机构通常采用一体式结构，在控制点胶摆臂只能上下移动或平行移动，使得点胶的动作时间长，因而影响点胶效率。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种分离式点胶机构，该分离式点胶机构可以避免点胶摆臂不能同步上下移动和平行移动导致的点胶动作时间长，提高点胶效率，其体积小巧，结构紧凑，维护不便。为了解决上述问题，本专利技术提供一种分离式点胶机构，该分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合；所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
分离式点胶机构，其特征在于：包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中，所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合；所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴器与传动轴一端连接，在该传动轴上设有与位置传感器配合的感应片，所述传动件的另一端偏轴心设有从动轴，该从动轴通过传动块与导轨安装板配合，该导轨安装板与点胶支撑臂通过导轨滑动连接；所述点胶...

【技术特征摘要】
1.分离式点胶机构，其特征在于: 包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中， 所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合； 所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴器与传动轴一端连接，在该传动轴上设有与位置传感器配合的感应片，所述传动件的另一端偏轴心设有从动...

【专利技术属性】
技术研发人员：区大公，
申请(专利权)人：深圳市恒睿智达科技有限公司，
类型：发明
国别省市：