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本发明适用于半导体固晶技术领域。本发明公开一种分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作...
该专利属于深圳市恒睿智达科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市恒睿智达科技有限公司授权不得商用。

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