【技术实现步骤摘要】
晶体定向生长热均衡装置
本专利技术适用于各种熔炼、冶炼行业；单晶、多晶硅、类单晶(准单晶)铸锭技术；蓝宝石等晶体生长环境所需的温度控制等领域。
技术介绍
冶炼、铸锭技术，先是通过加热熔化各原材料，然后降温冷却，铸锭成形。根据不同材料特性，及工艺要求，有些冷却的部位需要有先后顺序关系，定向凝结，及相关温度梯度。 目前的普遍的多晶硅铸锭的散热方式多是采用:或提升隔热笼、或提升加热体、或下拉坩埚等方式。这样的缺点是:1.散热面、散热区域较多，存在多面、多方向性散热，不能有效集中在坩埚底部，不能完全实现铸锭时要先从底部开始定向凝结的技术要求；2.因为散热区域广泛，能量损耗大；3.因为散热方式所存在的不均匀性，导致坩埚底部温度控制的均匀性和精确度很难保证。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了改善目前铸锭冷却方式上存在的多种不足，完全有效的实现定向凝结，和精确的温度梯度控制；生产过程中无需坩埚和隔热笼运动，减少了杂质侵入途径同时减少散热途径，更加有利于加强保温从而降低能耗，降低了生产成本。本专利技术为了实现以上目的，采用如下设计方案:使用单独的散热机构安置在坩埚支...
【技术保护点】
晶体定向生长热均衡装置，其特征是：采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部，通过该单独散热机构上的四块运动隔板(3)、(5)的同步运动，向四面开合，调整四块运动隔板(3)、(5)开合的速度及开合尺寸大小来实现散热及对温度的精确控制。
【技术特征摘要】
1.晶体定向生长热均衡装置，其特征是:采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部，通过该单独散热机构上的四块运动隔板(3)、(5)的同步运动，向四面开合，调整四块运动隔板(3)、(5)开合的速度及开合尺寸大小来实现散热及对温度的精确控制。2.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是:采用四方向同步开合方式，达到从中心点向边缘散热的效果，通过对开合大小、速度的精确控制，实现良好的温度梯度控制。3.根据权利要求1所述的晶体定向生长热均衡装置，其特征是:从中心点向边缘散热达到精确控制，依靠四方向运动来实现，可根据设备外形不同设计为2方向、6方向、8方向等运动模式；其隔热开关开孔形状根据散热平台外形不同及散热工艺需求不同而改变，主要形状有圆形、椭圆形、正方形、长方形、菱形等。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：王有林，
申请(专利权)人：上海仁翔新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。