下载晶体定向生长热均衡装置的技术资料

文档序号:9701984

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晶体定向生长热均衡装置,属于熔炼、冶炼行业及单晶硅、多晶硅、类单晶(准单晶)铸锭技术;蓝宝石等晶体生长环境所需的温度控制等领域。采用单独的散热机构安置在坩埚支撑平台底部,只针对坩埚底部进行定向散热;通过该单独散热机构上的四方向运动隔板的同步...
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