表面发射激光器装置和原子振荡器制造方法及图纸

技术编号:9685132 阅读:160 留言:0更新日期:2014-02-15 20:36
表面发射激光器装置和原子振荡器。该激光器装置包括基板(101)、下部反射器(102)、有源层(104)、上部反射器(106,113)和配置为发光的表面发射激光器(11-14)。第二相调整层(108)、接触层(109)、第一相调整层(111)和波长调整层(112)从有源层侧依次层叠。从第二相调整层(108)的有源层侧到波长调整层(112)中部的总光学厚度约为(2N+1)×λ/4,λ代表光波长,N代表正整数。从第二相调整层(108)的有源层侧至接触层(109)中部的光学厚度约为Nλ/2。表面发射激光器(11-14)的至少两个具有设置在不同厚度的波长调整层(112),并且配置为发射不同波长的光。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种表面发射激光器装置,包括:形成在基板上的下部反射器;形成在所述下部反射器上的有源层;形成在所述有源层上的上部反射器;被配置为发光的多个表面发射激光器;以及从所述有源层侧被依次层叠并被设置在所述下部反射器内、所述下部反射器和所述有源层之间、所述上部反射器内或所述上部反射器和所述有源层之间的第二相调整层、接触层、第一相调整层和波长调整层;其中从所述第二相调整层的所述有源层侧到所述波长调整层的中部的总光学厚度被设置为约(2N+1)×λ/4,其中λ代表所述表面发射激光器所发射的光的波长,N代表正整数;其中从所述第二相调整层的所述有源层侧到所述接触层的中部的光学厚度被设置为约Nλ/2;以及其中所述表面发射激光器包括具有被设置为不同厚度的波长调整层并且被配置为发射不同波长的光的第一表面发射激光器和第二表面发射激光器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:铃木亮一郎佐藤俊一
申请(专利权)人:株式会社理光
类型:发明
国别省市:

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