【技术实现步骤摘要】
薄壳容器工件抽真空及真空回填系统
:本技术涉及薄壳容器箱内抽真空、检漏、回填系统。
技术介绍
:对于真空氦检漏，抽真空和回填真空是必不可少的环节，但对于薄壳容器来说，传 统的工件与真空箱分别独立抽真空和回填真空，真空箱容积与工件容积有差异，真空箱抽 空泵与工件抽空泵抽速有差异，真空箱真空回填阀与工件放气阀回填速度差异，因此薄壳 容器工件内外压差无法控制，而薄壳容器承压能力较差，一般要求容器内外压差都要控制 在一定的范围，因此传统抽空回填工艺很容易造成被测工件损坏无法使用。
技术实现思路
:本技术的目的是提供一种防止薄壳容器工件在回填真空过程中因真空箱内 与工件内压差造成的变形损坏的薄壳容器工件抽真空及真空回填系统。本技术是这样实现的:薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，工件2置于真空箱I内，在真空箱外有联通 阀4分别与工件、真空箱和工位阀5连接，真空箱与其外的抽空阀3、真空回填阀7连接，抽 空阀与真空泵6连接。工件2的抽空口与联通阀4的非密封阀板端接口连接，真空箱I与联通阀4的密 封阀板端连接。联通阀处4于开启状态，，工位阀5与工件抽空口联通，工位阀5处于关闭状态，真 空回填阀7关闭，真空箱I关闭密封，真空泵6启动，抽空阀3打开，此时工件2与真空箱I 一起处于被真空泵6抽空状态，抽至工件需求的真空度，关闭联通阀4，打开工位阀5，此时 工件进行保压检大漏、放氮、平衡、回收工序；工件2检漏回收完成后，关闭工位阀5，打开联 通阀4，工件2与真空箱I联通，抽空阀3处于关闭状态，打开真空回填阀7，对真空箱和工 件同时回填。本技术有如下优点:1，在工件抽空口处安装一个联...
【技术保护点】
薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于工件（2）置于真空箱（1）内，在真空箱外有联通阀（4）分别与工件、真空箱和工位阀（5）连接，真空箱与其外的抽空阀（3）、真空回填阀（7）连接，抽空阀与真空泵（6）连接。
【技术特征摘要】
1.薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于工件(2)置于真空箱(I)内，在真 空箱外有联通阀(4 )分别与工件、真空箱和工位阀(5 )连接，真空箱与其外的抽空阀(3 )、真 空回填阀(7)连接，抽空阀与真空泵(6)连接。2.根据权利要求1所述的薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于工件(2) 的抽空口与联通阀(4)的非密封阀板端接口连接，真空箱(I)与联通阀(4)的密封阀板端连 接。3.根据权利要求2所述的薄壳容器工件抽真空及真空回填系统，其特征在于联通阀 处(4)于开...
【专利技术属性】
技术研发人员：张果，李健，瞿骑龙，
申请(专利权)人：爱发科东方真空成都有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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