下载薄壳容器工件抽真空及真空回填系统的技术资料

文档序号:9682154

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本实用新型为薄壳容器工件抽真空及真空回填系统,解决薄壳容器的抽真空和真空回填过程中,工件内外压差损坏工件的问题,工件(2)置于真空箱(1)内,在真空箱外有联通阀(4)分别与工件、真空箱和工位阀(5)连接,真空箱与其外的抽空阀(3)、真空回填...
该专利属于爱发科东方真空(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱发科东方真空(成都)有限公司授权不得商用。

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