放置设备的放置头的运动学保持系统技术方案

放置设备的放置头(2)的运动学保持系统包括：放置头对准装置，其包括至少一个长度可变的保持构件，该保持构件布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间且与接头(4、4′)成间距。该保持构件确定所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的枢转位置。该保持构件的长度在放置操作期间可以根据由所述放置头(2)压抵在衬底(3)上的挤压力而导致的放置头引导装置(18)的变形以如下方式而改变，即，补偿由所述放置头引导装置(18)的变形而导致的所述放置头(2)的轴线误差(倾斜度)。

【技术实现步骤摘要】
放置设备的放置头的运动学保持系统
本专利技术涉及放置设备的放置头的运动学保持系统，该放置设备用于具体地在半导体工业中将电子部件或光学部件安装在衬底上。
技术介绍
半导体工业中的放置设备需要以高精度且高产量地运行。这样的放置设备的一个例子是贴片机或取放机器，其将半导体芯片形式的部件放置且结合到诸如引线框的衬底上。所述部件由放置头具体地通过吸力在拾取位置处接收，经由放置设备的XYZ操纵系统移动到衬底上方的放置点，之后被放置在衬底上精确限定的位置处。放置头固定到放置头支撑件上，并且经由所述支撑件联接到XYZ操纵系统。Z方向通常对应于竖直方向，而XY平面形成水平平面。除了在XY平面上的部件的高精度放置以外，还非常重要的是部件还以平面平行的方式放置在衬底上。部件的倾斜放置会导致不期望的性质，例如，保持力降低，电接触变差或丧失，部件和衬底之间的热传递不均匀，或者对部件造成损坏。在放置过程期间，要考虑的问题是，当部件被压到衬底上时，由于产生的远非微不足道的挤压力将引起反作用力，该反作用力会导致放置头引导装置即放置头支撑件和/或XYZ操纵系统变形。在刚性连接到放置头支撑件上的放置头中，这种变本文档来自技高网...

【技术保护点】
放置设备的放置头(2)的运动学保持系统，所述放置设备用于将电子部件或光学部件(7)安装在衬底(3)上，所述运动学保持系统包括：放置头引导装置(18)，包括用于保持所述放置头(2)的放置头支撑件(1)；和放置头对准装置，用于调整所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的对准，其中所述放置头对准装置包括接头(4、4′)，所述放置头(2)经由所述接头被以可调整倾斜度的方式支撑在所述放置头支撑件(1)上，并且其中所述放置头对准装置包括至少一个长度可变的保持构件，所述至少一个长度可变的保持构件被布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间且与所述接头(4、4′)成间距，所述至少一个长度可变的保...

【技术特征摘要】
2012.07.24 DE 102012014558.61.放置设备的放置头(2)的运动学保持系统，所述放置设备用于将电子部件或光学部件(7)安装在衬底(3)上，所述运动学保持系统包括: 放置头引导装置(18)，包括用于保持所述放置头(2)的放置头支撑件(I);和 放置头对准装置，用于调整所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(I)的对准，其中 所述放置头对准装置包括接头(4、4')，所述放置头(2)经由所述接头被以可调整倾斜度的方式支撑在所述放置头支撑件(I)上，并且其中所述放置头对准装置包括至少一个长度可变的保持构件，所述至少一个长度可变的保持构件被布置在所述放置头支撑件(I)和所述放置头(2)之间且与所述接头(4、4')成间距，所述至少一个长度可变的保持构件确定所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(I)的枢转位置，并且在放置操作期间，取决于由所述放置头(2)挤压抵靠所述衬底(3)的挤压力而导致的所述放置头引导装置(18)的变形，所述至少一个长度可变的保持构件的长度能够以对由所述放置头引导装置的变形而导致的所述放置头(2)的轴线误差即倾斜度进行补偿的方式而改变。2.根据权利要求1所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件具有平行于或横向于所述放置头(2)的纵向轴线(8)布置的纵向轴线。3.根据权利要求1或2所述的保持系统，其中借助于放置头控制台(11)将所述放置头(2)可枢转地安装在所述放置头支撑件(I)上，其中所述长度可变的保持构件被支撑在所述放置头控制台(11)上。4.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述放置头对准装置包括多个接头杆(15a、15b)，所述多个接头杆经由接头连接到所述放置头(2)，且还连接到所述放置头支撑件(I)，并且所述多个接头杆将所述放置头(2)保持在相对于所述放置头支撑件(I)可改变的预定位置中，其中借助于所述长度可变的保持构件，所述接头杆(15a、15b)的相对位置能够以对所述放置头(2)的由变形引起的所述轴线误差即倾斜度进行补偿的方式改变。5.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件由以弹簧(12)为形式的受动元件组成，所述受动元件被布置在所述放置头支撑件(I)和所述放置头(2)之间，布置方式使得所述放置头支撑件(I) 一方面经由所述接头(4)且另一方面经由所述弹簧(12)将所述挤压力传递到所述放置头(2)，其中由所述挤压力产生的反作用力使所述弹簧(12)的长度产生改变。6.根据权利要求1至4中任何一项所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件由行程控制或力控制的致动器(13)组成。7.根据权利要求6所述的保持系统，其中所述致动器(13)包括电直接驱动器、音圈或压电驱动器。8.根据权利要求6或7所述的保持系统，其中所述致动器(13)经由杠杆布置或齿轮在所述放置头(2)的轴向位置上动作。9.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述放置头对准装置包括运动阻挡装置，用于阻挡所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(I)的相对移动。10.根据权利要求6至9中任何一项所述的保持系统，其中所述致动器(13)被形成为可锁定的致动器(13)。11.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系...

【专利技术属性】
技术研发人员：翰尼斯·科斯特纳，迪特马尔·莱克纳，弗洛里安·斯皮尔，马丁·维道尔，
申请(专利权)人：贝思瑞士股份公司，
类型：发明
国别省市：