【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体结构及其工艺方法，特别是，一种。
技术介绍
时至今日，由于无线通讯技术的蓬勃发展，市场对于天线的需求量亦急速提升，就现阶段而言，手机、笔记型计算机、全球卫星定位系统、数字电视、便携式移动电子装置等，都必须仰赖天线来发射与接收信号。换言之，天线是无线通讯设备与外界沟通的必备组件，用以负责无线信号的发送与接收，由于处于射频系统的第一线，因此天线对于信号接收质量的优劣，对整体无线通讯系统的运作效能影响甚巨。各地区为因应不同的需求，皆制订有不一样的无线通讯规范，也因此发展出位于不同频段的无线通讯规格，为了能满足各种规格的无线电波，将天线设计成可收发多频段已是相当普遍的应用。在实际操作上，通过切换电路来分离出不同的馈入信号，而达成多频的效果。由于天线的电路设计的好坏直接影响到天线的收信质量，当然这也包括用于天线切换电路的电路设计。因此如何提供一种用于天线切换电路的半导体结构与其工艺方法，可增加用于天线切换电路的耐(电)压强度及抗噪声能力，进而提高天线整体的收信质量，已成为重要的课题之一。
技术实现思路
有鉴于上述问题，本专利技术的目的是提供...
【技术保护点】
一种用于天线切换电路的工艺方法，包括下列步骤：提供砷化镓晶片，该砷化镓晶片包括覆盖层；在该砷化镓晶片上设置隔离层，以形成器件区域；以及在该器件区域内的该覆盖层上设置栅极金属，其中该栅极金属与该覆盖层的接触面形成肖特基接面，且该肖特基接面与阻抗并联连接。
【技术特征摘要】
2012.07.27 CN 201210265166.71.一种用于天线切换电路的工艺方法，包括下列步骤: 提供砷化镓晶片，该砷化镓晶片包括覆盖层； 在该砷化镓晶片上设置隔离层，以形成器件区域；以及 在该器件区域内的该覆盖层上设置栅极金属， 其中该栅极金属与该覆盖层的接触面形成肖特基接面，且该肖特基接面与阻抗并联连接。2.如权利要求1所述的工艺方法，其中该砷化镓晶片包括缓冲层、通道层、间隔层、施体层以及该覆盖层。3.如权利要求1所述的工艺方法,其中该隔离层的材质是绝缘材质,并通过离子注入的方式设置于该砷化镓晶片上。4.如权利要求1所述的工艺方法，其中该栅极金属通过蒸镀的方式设置于该覆盖层上。5.如权利要求1所述的工艺方法，更包括下列步骤: 设置第一欧姆层及第二欧姆层于该覆盖层上；以及 设置第一金属层于该第一欧姆层及该栅极金属上，并设置第二金属层于该第二欧姆层上...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖克恭，张东胜，古俊彦，陈诗喻，
申请(专利权)人：宣昶股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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