下载用于天线切换电路的半导体结构及其工艺方法的技术资料

文档序号:9669404

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一种用于天线切换电路的工艺方法,其步骤包括提供砷化镓晶片,其包括覆盖层;在砷化镓晶片上设置隔离层,以形成元件区域;以及在器件区域内的覆盖层上设置栅极金属,栅极金属与覆盖层的接触面形成肖特基接面,且肖特基接面与阻抗并联连接。本发明还公开一种用...
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