电荷流元件制造技术

一种电荷流元件包括在绝缘支撑物上的第一电极、电介质层和第二电极的堆叠，该电介质层具有能够通过隧道效应让电荷流动的至少一个部分，其中电极中的至少一个电极由未掺杂多晶硅制成。

【技术实现步骤摘要】
电荷流元件相关申请的交叉引用本申请要求在法律可允许的最大程度上通过引用而结合于此、于2012年7月30日提交的第12/57354号法国专利申请的优先权。
本公开内容总体涉及电子电路，并且具体地涉及实现可控地保持电荷以用于时间测量的电路的形成。它更具体地涉及电荷流元件的形成。
技术介绍
在许多应用中，希望具有代表在两个事件之间流逝的时间的信息，它是准确或者近似测量。应用示例涉及尤其对媒体的访问权限的时间管理。获得这样的代表流逝时间的信息常规地需要例如借助电池供电的电子电路的时间测量以免在不使用电路时丢失信息变化。将希望具有即使在未向电子测量电路供电时仍然工作的时间测量。例如已经在第8，331，203号号美国专利中提供一种电子器件，其中通过测量具有电极的电容存储元件的电荷来确定在两个事件之间流逝的时间，该电极连接到电容电荷流元件的电极，该电容电荷流元件在它的电介质空间中具有泄漏。在向器件供电时对存储元件充电，并且在再次向器件供电时测量存储元件在功率供应中断之后的残留电荷。这一残留电荷视为代表在器件的两次功率供应之间流逝的时间段。电荷流元件在它的电介质空间中包括更小厚度的区域，该区本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电荷流元件，包括在绝缘支撑物上的第一电极、电介质层和第二电极的堆叠，所述电介质层具有能够通过隧道效应让电荷流动的至少一个部分，其中所述电极中的至少一个电极由未掺杂多晶硅制成。

【技术特征摘要】
2012.07.30 FR 12573541.一种电荷流元件，包括在绝缘支撑物上的第一电极、电介质层和第二电极的堆叠，所述电介质层具有能够通过隧道效应让电荷流动的至少一个部分，其中所述电极中的至少一个电极由未掺杂多晶硅制成。2.根据权利要求1所述的元件，其中所述电极之一由重掺杂多晶硅制成。3.根据权利要求1所述的元件，其中两个电极由未掺杂多晶硅制成。4.根据权利要求1所述的元件，其中所述电介质层包括氧化物-氮化物-氧化物堆叠，所述至少一个部分由氧化硅制成。5.根据权利要求1所述的元件，具有在所述两个电极之间的、范围在1*10_15与10*10_15法拉之间的电容...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·玛里内特，P·福尔纳拉，
申请(专利权)人：意法半导体鲁塞公司，
类型：发明
国别省市：