移载装置制造方法及图纸

一种移载装置，适于输送一基板，并包含一基座及一第一移载机构。该基座包括一呈水平延伸的轨道。该第一移载机构包括一第一移载单元、一呈垂直延伸并位于该轨道下方的第一轨道、一滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动的第一垂直滑移件，及一第一刚性风管组。该第一移载单元具有一滑接于轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件，一第一连接件，一第一驱动马达，及一与第一水平滑移件间隔设置且用于吸附基板的第一吸盘。第一水平滑移件带动第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于第一位置，第一吸盘吸附基板，于第二位置，基板脱离第一吸盘。本移载装置具有刚性风管组，不易变形，运作时不易产生粉尘，曝光制程良好。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
移载装置
本技术涉及一种移载装置，特别是涉及一种能够稳固的带动待曝光基板移动的移载装置。
技术介绍
现有的曝光机适于对一基板进行曝光，该基板为一待曝光基板。曝光机的移载装置，是通过一入料的移载机构，将一基板并移载至一曝光平台，基板在曝光平台完成曝光后，由一出料的移载机构，将基板移至下一道制程。入料的移载机构及出料的移载机构皆是通过带动软性管，才能完成移动。然而，软性管在移动过程中，软性管产生变形并造成摩擦，进而产生粉尘，更进一步影响曝光制程。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种运作时，不易产生粉尘的移载装置。于是，本技术移载装置，适于输送一基板，该移载装置包含:一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及一第一移载机构,包括—第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种移载装置，适于输送一基板；其特征在于：该移载装置包含一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及一第一移载机构，包括一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，该第一水平滑移件带动...

【技术特征摘要】
1.一种移载装置，适于输送一基板；其特征在于:该移载装置包含 一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及 一第一移载机构，包括 一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘； 一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间； 一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及 一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端， 该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。2.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于:该第一刚性风管组具有一枢接于该第一连接件的第一旋转接头、一枢接于该第一垂直滑移件的第一接头，及一连接于该第一旋转接头与该第一接头的第一刚性风管，该第一端是位于该第一旋转接头，该第二端是位于该弟一接头。3.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于:该第一轨道为一导轨，该第一垂直滑移件为一导块。4.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于:该第一轨道为一滑轨，该第一垂直滑移件为一滑块。5.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于:该第一吸盘具有一第一吸附面，及多个彼此相间隔且自该第一吸附面凹陷形成的第一吸气孔。6.根据权利要求1所述移载装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：林振弘，汪晨伟，陈明宗，
申请(专利权)人：志圣工业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：