下载移载装置的技术资料

文档序号:9604802

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一种移载装置,适于输送一基板,并包含一基座及一第一移载机构。该基座包括一呈水平延伸的轨道。该第一移载机构包括一第一移载单元、一呈垂直延伸并位于该轨道下方的第一轨道、一滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动的第一垂直滑移件,及一第一...
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