一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统制造方法及图纸

技术编号:9597732 阅读:102 留言:0更新日期:2014-01-23 02:59
本发明专利技术公开了一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统。本发明专利技术在所述碎屑的传播路径上依次设置能够主动使不带电的碎屑带电的加电装置和偏转电场,所述偏转电场能够使带电的碎屑的运动方向发生偏转后被收集。本发明专利技术的实施例中EUV光源系统包括EUV辐照产生装置、光收集系统和碎屑收集装置,该EUV辐照装置用于产生EUV光,同时产生碎屑;该碎屑产生装置置于所述EUV辐照产生装置和光收集系统之间。本发明专利技术能够有效地降低碎屑对真空系统和元器件的污染,且不影响EUV光的继续传播。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种降低碎屑的方法,用于收集朝特定方向传播的碎屑,其特征在于,该方法包括:在所述碎屑的传播路径上依次设置能够主动使不带电的碎屑带电的加电装置和偏转电场,所述偏转电场能够使带电的碎屑的运动方向发生偏转后被收集。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
申请(专利权)人:中国科学院光电研究院
类型:发明
国别省市:

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