多晶硅铸锭炉用石墨坩埚制造技术

技术编号:9578660 阅读:220 留言:0更新日期:2014-01-16 07:48
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,涉及多晶硅铸锭炉用石墨坩埚技术领域,它包括底板、四个侧板、螺钉、四个侧底端还开有数量不少于个半圆孔;四个侧板通过螺钉固定在底板上;底板四周开有沟槽、底板的四个边缘还设有滴漏槽,滴漏槽位置和半圆孔的位置对应;其特征在于沟槽为波浪形,每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板的半圆孔;沟槽的波浪形波谷个数和半圆孔数量相等;沟槽的波谷开有流出槽,流出槽与滴漏槽相接。本实用新型专利技术所产生的有益效果是当发生硅液泄漏后,硅液能够快速的从石墨坩埚中流出,从而出发报警装置,避免引发泄漏事故。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,涉及多晶硅铸锭炉用石墨坩埚
,它包括底板、四个侧板、螺钉、四个侧底端还开有数量不少于个半圆孔;四个侧板通过螺钉固定在底板上;底板四周开有沟槽、底板的四个边缘还设有滴漏槽,滴漏槽位置和半圆孔的位置对应;其特征在于沟槽为波浪形,每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板的半圆孔;沟槽的波浪形波谷个数和半圆孔数量相等;沟槽的波谷开有流出槽,流出槽与滴漏槽相接。本技术所产生的有益效果是当发生硅液泄漏后,硅液能够快速的从石墨坩埚中流出,从而出发报警装置,避免引发泄漏事故。【专利说明】多晶硅铸锭炉用石墨坩埚
本技术涉及多晶硅铸锭炉用石墨坩埚

技术介绍
现有使用的多晶硅铸锭炉,其用于支撑石英坩埚的石墨坩锅都是由四块侧板与一块底板组合而成,当发生硅液溢出时,硅液在平坦的石墨坩埚底板上可以往四处任意流动。由于硅液溢出是一种工艺事故,须及时发现并采取相应措施处理,而硅液的不确定流向延长了事故的报警时间,极易引发更为严重的后果。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,当发生硅液泄漏时,硅液能够快速的从石墨坩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,它包括底板(1)、四个侧板(2)、螺钉(3)、每个侧板(2)底端还开有数量不少于4个半圆孔(21);四个侧板(2)通过螺钉(3)固定在底板(1)上;底板(1)四周开有沟槽(11);底板(1)的四个边缘还设有滴漏槽(12),滴漏槽(12)位置和半圆孔(21)的位置对应;其特征在于沟槽(11)为波浪形,每个波浪形的波谷分别对应着四个侧板(2)的半圆孔(21);沟槽(11)的波浪形波谷个数和半圆孔(21)数量相等;沟槽(11)的波谷开有流出槽(13),流出槽(13)与滴漏槽(12)相接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘勇
申请(专利权)人:衡水英利新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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