【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种回收不纯氖氦混合气的装置，其特征在于，包括除氢炉、冷却器、气液分离器、低压容器和压缩机；所述除氢炉设有原料气进口和排气口，除氢炉的排气口通过管道与冷却器的进气口连接，所述冷却器的排气口通过管道与气液分离器进气口连接，气液分离器的排气口通过管道与低压容器的进气口连接，低压容器的排气口通过管道与压缩机的进气口连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曹月丛，俞建，严寿鹏，
申请(专利权)人：上海启元空分技术发展股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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