【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种碳化硅涂层石墨基座，用于蓝绿光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室，其特征在于：石墨基座体上加工有多个口袋，口袋的边缘有倒角，倒角内侧为垂直边。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄建明，詹国彬，
申请(专利权)人：上海东洋炭素有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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