【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种单晶铜键合线退火机供气装置，在工作车间外设一个大的氢气罐和一个大的氮气罐，通过不锈钢管给每个单晶铜键合线退火机供气，其特征是：在氢气罐和氮气罐出气口处设总阀门，在每个单晶铜键合线退火机处的供气管分别设一个退火机阀门，控制每台单晶铜键合线退火机的供气量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李勇，周峰，
申请(专利权)人：滕州晨晖电子集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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