【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种控温模块，其特征在于，所述控温模块包括：冷却模块和报警模块，所述冷却模块设有风扇。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何崇敏，杨旭敏，杨志平，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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