多晶硅除硼的防爆水蒸气发生系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种多晶硅除硼加气系统，具体涉及一种多晶硅除硼的防爆水蒸气发生系统，包括进水管和进空气管，进水管和进空气管均与汽化器相连，汽化器连接有送气管，其特征在于送气管的最低点位置处连接有管道回路，管道回路上连通有汽水分离器，送气管出口端设置有分散出气管，分散出气管与石墨坩埚底部相通连。本实用新型专利技术所具有的有益效果是：（1）实现精密流量控制；（2）整套系统能够确保通入的水蒸气温度高于120℃，使传输过程中无液化现象；（3）汽水分离器确保意外产生液态水不进入石墨坩埚，保证了安全；（4）吹气口分散，确保不会产生爆沸；（5）在原有渣剂除硼效果的基础上，除硼效果提高30%-50%。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅除硼的防爆水蒸气发生系统，包括进水管（1）和进空气管（3），进水管（1）和进空气管（3）均与汽化器（5）相连，汽化器（5）连接有送气管（6），其特征在于送气管（6）的最低点位置处连接有管道回路，管道回路上连通有汽水分离器（7），送气管（6）出口端设置有分散出气管（8），分散出气管（8）与石墨坩埚（9）底部相通连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭毅，胡志刚，王登科，
申请(专利权)人：青岛隆盛晶硅科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：