一种固定硅片的装置制造方法及图纸

技术编号:9423507 阅读:83 留言:0更新日期:2013-12-06 06:01
本实用新型专利技术公开了一种固定硅片的装置,通过在一支撑盒体的盖面上设置至少一个吸附孔,且每个吸附孔的下表面均固定套设一吸附环,以形成一漏斗状镂空结构,并且在支撑盒体的一侧板上设置一真空阀,利用该真空阀与外部的真空产生装置连接,启动真空产生装置时能够抽去支撑盒体中的空气,从而固定放置于支撑盒体的盖板上表面的硅片;另外,本实用新型专利技术通过在该支撑盒体的下表面设置一支撑装置,该支撑装置包括一固定脚和至少两个调整脚,再在该支撑盒体的盖板上镶嵌一水平仪,通过观察水平仪就能够控制调整脚的调度,使支撑盒体处于一个水平面,从而使放置于盖板上表面的硅片能够处于一水平面;进而提高了手工萃取工艺的工作效率。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固定硅片的装置,应用于硅片的手工萃取工艺中,其特征在于,所述装置包括一支撑盒体,该支撑盒体由一盖板、一背板和四个侧板构成;所述背板的下表面固定设置有支撑装置;所述盖板上开设有至少一个吸附孔,用以吸附放置在所述盖板上表面的硅片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张军烨
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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