【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
多狭缝光波导外延型光栅FP腔光学生化传感芯片,包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体,其特征在于,所述基体的单晶硅层包含狭缝光波导,所述狭缝光波导的光传播路径上包含光栅FP腔,基体俯视方向为长方形,狭缝光波导包含多条狭缝槽,所述狭缝以基体长度方向的中心轴线为轴对称分布,长度与基体所述中心轴线相等,所述光栅FP腔的光栅为外延型光栅,位于长方形基体外侧,为外凸型齿状光栅。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:袁国慧,王卓然,高亮,
申请(专利权)人:成都谱视科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。