温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型的多狭缝光波导外延型光栅FP腔光学生化传感芯片，包括自下而上依次层叠键合的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层构成的基体，狭缝光波导的光传播路径上包含光栅FP腔，所述狭缝以基体长度方向的中心轴线为轴对称分布，长度与基体所述中心轴线相等，所...
该专利属于成都谱视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都谱视科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。