【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种OLED有机材料蒸发装置,包括基板载台、蒸镀室和装载机器人,所述蒸镀室用于为有机材料蒸镀提供真空环境,装载机器人用于装载蒸镀基板,其特征在于,还包括蒸发舟、加热装置、称量单元、工控机和主控单元,所述加热装置用于加热蒸发舟,称量单元放置于蒸发舟下并共同置于蒸镀室内,用于实时反映蒸发舟内有机材料的量,工控机同时与称量单元和主控单元相连接,用于将称量单元称量的有机物的量的信息传输至主控单元,装载机器人与工控机相连接,用于根据有机物的量的信息装载蒸镀基板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵芳,
申请(专利权)人:四川虹视显示技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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