一种镀膜机坩埚制造技术

技术编号:9378656 阅读:188 留言:0更新日期:2013-11-27 21:11
本发明专利技术提供一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。本发明专利技术所提供的镀膜机坩埚,新增由金属丝或金属条形成的导热装置,可以更好的传热,使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀,达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料,提高蒸镀速率,减少开腔填料次数,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邹清华吴泰必
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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