【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邹清华,吴泰必,
申请(专利权)人:深圳市华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
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