下载一种OLED有机材料蒸发装置的技术资料

文档序号:9417756

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本实用新型的用于蒸镀OLED有机材料的新型蒸发装置包括蒸镀腔室、蒸镀基板载台、电加热丝、蒸发皿、高温天平、工控机、蒸镀主控电脑、蒸镀装载机器人;蒸发皿处在高温天平上面,通过高温天平随时称量出蒸镀有机物的质量以及质量的变化;电加热丝通过功率控...
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