致动器、光学扫描仪以及图像形成装置制造方法及图纸

一种致动器，其特征在于，具有：可动部，其能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向进行俯视观察时，上述可动部呈十字状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】一种致动器，其特征在于，具有：可动部，其能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向进行俯视观察时，上述可动部呈十字状。【专利说明】致动器、光学扫描仪以及图像形成装置
本专利技术涉及致动器、光学扫描仪以及图像形成装置。
技术介绍
作为致动器，公知有使用了扭转振动器的致动器(例如，参照专利文献I)。例如，在专利文献I中，公开有具有可动板(可动部)、支承框架(支承部)、以及将可动板支承为能够相对于支承框架扭转的一对弹性支承部(连结部)，且各弹性支承部由两根棒(梁部件)构成的光偏转器。这样的可动板、支承框架以及一对弹性支承部通过对主面为由硅(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻而形成为一体。另外，在专利文献I的光偏转器中，俯视观察时可动板呈八边形。呈这样的俯视形状的可动板具有能够减小可动板在偏离了转动轴(摆动轴)的位置上的重量、减少惯性力矩的优点。但是，在使用如上所述的各向异性蚀刻来制造俯视形状呈八边形的可动板的情况下，由于与结晶面的关系，形状的偏差很大。专利文献1:日本特开2010 - 79243号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供与现有技术相比能够减小制造中的可动部的形状偏差且减小可动部的摆动时的惯性力矩的致动器、光学扫描仪以及图像形成装置。通过下述的本专利技术来实现这样的目的。本专利技术的致动器的特征在于，具有:可动部，其能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向进行俯视观察时，上述可动部呈十字状。根据这样的本专利技术的致动器，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减少可动部的摆动时的惯性力矩。在本专利技术的致动器中，优选从上述可动部的厚度方向进行俯视观察时，上述可动部的外形主要由与上述摆动轴平行的线段和与上述摆动轴垂直的线段构成。由此，能够减小制造中的可动部的形状偏差。在本专利技术的致动器中，优选上述可动部、上述支承部以及上述连结部通过对硅基板进行各向异性蚀刻而形成。由此，能够减小形状偏差，且容易地形成可动部、支承部以及一对连结部。在本专利技术的致动器中，优选上述可动部的板面由硅的(100)面构成。由此，通过对板面为由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，能够减小形状偏差，且容易地形成可动部、支承部以及一对连结部。在本专利技术的致动器中，优选上述可动部的侧面主要由硅的(111)面构成。由此，通过对板面为由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层来利用，能够减小形状偏差从而容易地形成可动部、支承部以及一对连结部。在本专利技术的致动器中，优选在上述可动部的侧面形成有在与上述可动部的板面正交的剖面上呈V字状的槽。由此，能够减小可动部的惯性力矩。另外，对于这样的槽而言，通过对板面为由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层来利用，能够减小形状偏差且容易地形成可动部。在本专利技术的致动器中，优选上述连结部的表面由硅的(100)面以及硅的(111)面构成。由此，能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层来利用，能够减小形状偏差且容易地形成连结部。在本专利技术的致动器中，优选在从上述厚度方向俯视时，上述可动部相对于上述可动部的上述摆动轴呈对称形状。由此，能够使可动部的重心位于可动部的摆动轴上，从而使得可动部的摆动顺畅。在本专利技术的致动器中，优选在从上述厚度方向进行俯视观察时，上述可动部相对于经过上述可动部的中心并且与上述可动部的上述摆动轴垂直的线段呈对称形状。由此,可动部的设计变得容易。本专利技术的致动器的特征在于，具有:可动部，其能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向俯视时，上述可动部呈将四边形的四角部分分别切去矩形而形成的形状。根据这样的本专利技术的致动器，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减小可动部的摆动时的惯性力矩。本专利技术的光学扫描仪的特征在于，具有:可动部，其具备具有光反射性的光反射部，并且能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向俯视观察时，上述可动部呈十字状。根据这样构成的光学扫描仪，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减小可动部的摆动时的惯性力矩。本专利技术的光学扫描仪的特征在于，具有:可动部，其具备具有光反射性的光反射部，并且能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向俯视观察时，上述可动部呈将四边形的四角部分分别切去矩形而形成的形状。根据这样构成的光学扫描仪，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减小可动部的摆动时的惯性力矩。本专利技术的图像形成装置的特征在于，具备:光源，其射出光；和光学扫描仪，其扫描来自上述光源的光，上述光学扫描仪具有:可动部，其具备具有光反射性的光反射部，并且能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向俯视观察时，上述可动部呈十字状。根据这样构成的图像形成装置，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减小可动部的摆动时的惯性力矩。因此，能够廉价地得到高品质的图像。本专利技术的图像形成装置的特征在于，具备:光源，其射出光；和光学扫描仪，其扫描来自上述光源的光，上述光学扫描仪具有:可动部，其具备具有光反射性的光反射部，并且能够绕摆动轴摆动；连结部，其从上述可动部延伸突出，并且随着上述可动部的摆动而产生扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，在从上述可动部的厚度方向俯视观察时，上述可动部呈将四边形的四角部分分别切去矩形而形成的形状。根据这样构成的图像形成装置，能够减小制造中的可动部的形状偏差，减小可动部的摆动时的惯性力矩。因此，能够廉价地得到高品质的图像。【专利附图】【附图说明】图1是表不本专利技术的第一实施方式的光学扫描仪(致动器)的俯视图。图2是图1中的A — A线剖视图。图3是用于说明图1所示的光学扫描仪所具备的可动板的俯视图。图4是图1中的B —B线剖视图。图5是图4的局部放大剖视图。图6是用于说明图1所示的光学扫描仪的制造方法的剖视图。图7是用于说明图1所示的光学扫描仪的制造方法的剖视图。图8是用于说明图1所示的光学扫描仪的制造方法的剖视图。图9是用于说明图8 Ce)所示的蚀刻工序中的连结部的形成(不存在掩模偏移的情况)的图。图10是用于说明图8 (e)所示的蚀刻工序中的连结部的形成(存在掩模偏移的情况)的图。图11是表示本专利技术的第二实施方式的光学扫描仪的俯视图。图12是图11中的B — B线局部放大剖视图。图13是用于说明本专利技术的第三实施方式的扫描仪所具备的可动板的俯视图。图14是用于说明本专利技术的第四实施方式的扫描仪所具备的可动板的俯视图。图15是表示本专利技术的图像形成装置的构成的一个例子的示意图。【具体实施方式】以下，参照附图对本专利技术的致动器、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：日野真希子，沟口安志，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：
国别省市：