【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板表面处理设备，包括：一腔体，其内部具有一顶端及一相对该顶端另一侧的底端，而于该顶端及该底端间形成一个容置空间；至少一紫外光源灯，配置于该顶端的下方；一加热装置，配置于该底端上方；及一黑体辐射板，配置于该腔体的该容置空间内，并介于该些紫外光源灯与该加热装置之间。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：萧盈诗，
申请(专利权)人：核心能源实业有限公司，
类型：发明
国别省市：
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