【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种金属离子电物理清洗系统,其特征在于,所述系统主要包括真空室、工件夹具、偏压电源、压差电阻、电弧电源、导向板装置和蒸发源;所述工件夹具、导向板装置、蒸发源和引弧板安装在真空室内;所述真空室的室壁接地;所述偏压电源的正极与压差电阻的一端电性连接,压差电阻的另一端与导向板装置电性连接;偏压电源的正极接地;偏压电源的负极与工件夹具之间电性连接;所述电弧电源的正极与导向板装置电性连接;所述导向板装置能根据清洗工作的需要调节其与工件夹具之间的相对位置和角度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱善元,邓斌,
申请(专利权)人:重庆特钛超膜工贸有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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