一种化学气相沉积制备石墨烯的方法技术

技术编号:9378664 阅读:115 留言:0更新日期:2013-11-27 21:12
一种化学气相沉积制备石墨烯的方法,包括以下步骤:将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次,在50℃~80℃下烘干;将钴镍合金衬底放入石英炉中,加热温度至880℃~890℃,通氦气,氦气流速为50sccm;保持温度在880℃~890℃下向石英炉中均匀加入乙苯;将石英炉降温到室温,取出样品;将样品进行超声处理,超声处理功率为800w,时间为60~90min,获得石墨烯。制备得到的石墨烯具有较大的载流子迁移率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种化学气相沉积制备石墨烯的方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将衬底钴镍合金用质量分数为75%的乙醇溶液清洗三次,在50℃~80℃下烘干;(2)将钴镍合金衬底放入石英炉中,加热温度至880℃~890℃,通氦气,氦气流速为50sccm;(3)保持温度在880℃~890℃下向石英炉中均匀加入乙苯;(4)将石英炉降温到室温,取出样品;(5)将样品进行超声处理,超声处理功率为800w,时间为60~90min,获得石墨烯。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林耀朋张旭吴军
申请(专利权)人:苏州艾特斯环保材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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