有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法技术

本发明专利技术的通式(1-1)(式中，X表示通式(1-2)表示的基团(式中，Ra和Rb表示碳原子数为1～5的直链或支链状烷基。)，Y表示通式(1-2)表示的基团或碳原子数为1～8的直链或支链状烷基，Z表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基。L表示具有至少2个双键的不饱和烃化合物)所表示的有机钌络合物、双(乙酰丙酮根)(1，5-己二烯)合钌以及双(乙酰丙酮根)(1，3-戊二烯)合钌具有低熔点，对水分、空气和热的稳定性优异，且适用于CVD法成膜。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双(乙酰丙酮根)(1，5?己二烯)合钌，其用式(2?1)表示，FDA00003529717200011.jpg

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：角田巧，长谷川千寻，金户宏树，二瓶央，
申请(专利权)人：宇部兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：