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有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法技术
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下载有机钌络合物以及使用该钌络合物的钌薄膜的制造方法的技术资料
文档序号:9377534
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本发明的通式(1-1)(式中,X表示通式(1-2)表示的基团(式中,Ra和Rb表示碳原子数为1~5的直链或支链状烷基。),Y表示通式(1-2)表示的基团或碳原子数为1~8的直链或支链状烷基,Z表示氢原子或碳原子数为1~4的烷基。L表示具有至...
该专利属于宇部兴产株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过宇部兴产株式会社授权不得商用。
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