激光加工装置和激光加工方法制造方法及图纸

技术编号:9291282 阅读:103 留言:0更新日期:2013-10-30 21:18
本发明专利技术提供激光加工装置和激光加工方法,其无论被加工物的激光照射面状态如何都能实施均匀的激光加工。对被加工物实施激光加工的激光加工装置的特征在于具有:卡盘台,其保持被加工物;激光束照射构件,其包括激光振荡器和加工头,该加工头具有聚光透镜,该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚;反射光量检测构件,其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物的激光束的反射光量;以及输出调整构件,其基于由该反射光量检测构件检测出的反射光量,调整从该激光振荡器振荡出的激光束的输出。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光加工装置,其对被加工物实施激光加工,该激光加工装置的特征在于具有:卡盘台,其保持被加工物;激光束照射构件,其包括激光振荡器和加工头,该加工头具有聚光透镜,该聚光透镜对从该激光振荡器振荡出的激光束进行会聚;反射光量检测构件,其检测从该激光束照射构件照射到保持于该卡盘台的被加工物的激光束的反射光量;以及输出调整构件,其基于由该反射光量检测构件检测出的反射光量,调整从该激光振荡器振荡出的激光束的输出。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:生越信守
申请(专利权)人:株式会社迪思科
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1