底层涂料组合物及制造微电子器件的方法技术

本发明专利技术涉及包括聚合物的底层涂料组合物，其中该聚合物包含在该聚合物主链中的至少一个具有包含氟或碘部分的侧基的羟基芳香族单元和至少一个包含氨基塑料的单元。本发明专利技术还涉及使用该组合物形成图像的方法，尤其用于EUV。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚晖蓉，Z·博格斯，林观阳，M·O·奈瑟，
申请(专利权)人：AZ电子材料美国公司，
类型：
国别省市：