带有积累增益植入物的横向双扩散金属氧化物半导体制造技术

技术编号:9278003 阅读:104 留言:0更新日期:2013-10-25 00:01
本发明专利技术涉及一种横向双-扩散金属-氧化物-半导体晶体管器件,包括一个增益注入区,形成在本体和漂流漏极区之间的P-N结附近的那部分积累区中。增益注入区包括导电类型与漂流漏极区相同的附加掺杂物。在增益注入区和P-N结之间有一个缝隙。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种横向双扩散金属氧化物半导体晶体管器件,其特征在于,包括:一个第一导电类型的半导体衬底;一个形成在衬底上的第二导电类型的漂流漏极区,第二导电类型与第一导电类型相反;一个源极区、一个本体区以及一个形成在漂流漏极区的漏极接触拾取区,其中本体区为第一导电类型,源极区为第二导电类型,但掺杂浓度比漂流漏极区更重,漏极接触拾取区为第二导电类型;一个本体拾取区,形成在本体区上,横向靠近源极区,其中本体拾取区为第一导电类型,但掺杂浓度比本体区更重;一个有源通道,形成在本体区中,本体区和漂流漏极区之间有一个结,有源通道就形成在源极区和这个结之间;一个积累区,形成在结和漏极接触拾取区之间的漂流漏极区中;以及一个...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:秀明土子
申请(专利权)人:万国半导体股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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