【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于Agent的分布式智能光刻设备,其特征在于包括:嵌入式设备、WIFI、本地工作站和多个光刻设备;嵌入式设备通过因特网远程访问技术和局域网数据传输技术两个系统并行执行,互补地完成技术参数匹配任务;所述技术参数匹配过程为:?步骤S01:本地工作站通过因特网远程访问技术得到更新的数据库和参数模型;?步骤S02:本地工作站通过WIFI将更新的工艺参数模型传输至嵌入式设备并自动加载到程序;?步骤S03:嵌入式设备运行更新的工艺参数模型,通过局域网数据传输技术对各光刻设备的光刻步骤进行实时参数匹配;?步骤S04:将匹配参数实时地传输至分布在各光刻设备中的嵌入式设备;?步骤S05:嵌入式设备根据接收到的数据对各光刻设备进行相应的实时操作。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王楠,蒋薇,严伟,胡松,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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