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本发明提供一种基于Agent的分布式智能光刻设备，该设备需集成到各种光刻设备中使用。实际使用时，本地工作站通过因特网远程访问技术访问远程服务器中的技术参数库，检索符合技术指标的各项参数，下载并自动加载到该设备中，实现对光刻的控制；该设备还可...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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