【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电性失效分析的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：提供电性失效分析中各测试项的测试项函数；根据电性失效分析的测试需求，确定电性失效分析的测试项，基于所述测试项形成测试项关联数据，所述测试项关联数据与所述测试项对应的测试项函数关联；提供对应所述测试需求的测试文件，所述测试文件包括关联于测试项的测试项关联数据及对应所述测试项关联数据的测试参数；运行所述测试文件，获取测试结果；根据测试结果和测试需求，在需修改测试文件时，调整所述测试参数。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周第廷，陆磊，张宇飞，谢振，陈宏领，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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