一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，包括声反射层、压电层以及输入电极对和输出电极对，输入电极对和输出电极对均由设置在压电层上下两表面的两个相同形状且相互连通的上电极和下电极组成。压电层上下表面对应两电极所产生的电场分布对称，使平行极化轴的电场分量相互抵消，而垂直极化轴电场分量相互加强，形成较强的单一剪切波激励电场。该器件在压电层中能够获得完全的纯剪切波模式谐振，品质因数高，从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，包括基片（101）、声反射层（102）、压电层（103）以及输入电极对（104）和输出电极对（105），其特征在于，所述的输入电极对（104）由设置在压电层（103）上下两表面的两个相同形状且相互连通的输入上电极（106）和输入下电极（107）组成，输出电极对（105）由设置在压电层（103）上下两表面的两个相同形状且相互连通的输出上电极（108）和输出下电极（109）组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王璟璟，陈达，孙学军，金荧荧，干耀国，
申请(专利权)人：山东科技大学，
类型：实用新型
国别省市：