【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种陶瓷基复合材料与金属材料的石墨烯辅助钎焊方法,其特征在于陶瓷基复合材料与金属材料的石墨烯辅助钎焊方法按以下步骤实现:一、将陶瓷基复合材料放入等离子体增强化学气相沉积设备中,抽真空至5Pa以下,通入保护气体H2和Ar气,调节H2流量为10~50sccm,Ar流量为10~50sccm,保护气体压强为100~500Pa,然后将工作温度升温至500~1000℃,到达工作温度后打开射频电源,调节射频功率至200W,处理10~30min进行等离子体表面处理;二、表面处理结束后关闭射频电源,通入CH4气体,调节CH4流量为10~50sccm,Ar流量为50~100sccm,调节并维持工作压强为100~500Pa,开启射频电源,调节射频功率为200W,沉积10~30min后关闭加热电源和射频电源,停止通入CH4气体,以Ar和H2为保护气体,冷却到室温,得到表面生长有石墨烯的陶瓷基复合材料;三、将Ti基钎料置于步骤二得到的表面生长有石墨烯的陶瓷基复合材料与金属材料的待连接面之间,组成待焊件,待焊件放入真空钎焊炉中,抽真空,钎焊温度升至800~1200℃,保温5~30min后以5℃/min的降温速度冷 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:亓钧雷,万禹含,张丽霞,曹健,冯吉才,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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