【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
晶圆涂蜡台,其特征在于:包括带有边缘凸台(311)的旋转台(31),旋转台(31)的内部台阶(312)带有通孔,导气导蜡台(32)装在所述通孔内并与旋转台(31)底部留有空间(317),导气导蜡台(32)带有导气导蜡孔(321),导气导蜡孔(321)为喇叭形通孔;旋转台(31)的内部台阶(312)高于导气导蜡台(32),内部台阶(312)上设置有涂蜡层(313),涂蜡层(313)与边缘凸台(311)之间均布有边缘排蜡槽(314),边缘排蜡槽(314)为贯通槽;相邻边缘排蜡槽(314)的连接段上设有连通流道(315),连通流道(315)设置在靠近涂蜡层(313)一侧;涂蜡层(313)上均布有导气导蜡流道(316),导气导蜡流道(316)将导气导蜡台(32)和边缘排蜡槽(314)、连通流道(315)连通,导气导蜡流道(316)的底面与导气导蜡台(32)上端面处于同一水平面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张锋,
申请(专利权)人:康可电子无锡有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。