用于热丝化学气相沉积的丝制造技术

技术编号:9225969 阅读:147 留言:0更新日期:2013-10-04 19:44
本发明专利技术涉及用于半导体层或介电层的热丝化学气相沉积的难熔金属丝,其特征在于,该丝的至少两个隔开的部分设有耐温涂层。本发明专利技术也涉及制造这种丝的方法以及其在半导体层或介电层的热丝化学气相沉积中的用途。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:A·塔拉索纳拉夫拉多尔
申请(专利权)人:易捷康技术有限公司
类型:
国别省市:

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