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本发明涉及用于半导体层或介电层的热丝化学气相沉积的难熔金属丝，其特征在于，该丝的至少两个隔开的部分设有耐温涂层。本发明也涉及制造这种丝的方法以及其在半导体层或介电层的热丝化学气相沉积中的用途。...
该专利属于易捷康技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过易捷康技术有限公司授权不得商用。

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