【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置,包括位于反应腔室(103)上方的气体喷射板(210),该气体喷射板(210)上方设有气体连接板(216),在所述气体喷射板(210)与气体连接板(216)之间设有至少三个层叠的气体分布板(212、214、215);其特征在于,在所述气体喷射板(210)与最下层的气体分布板(212)之间、相邻两层气体分布板之间均设置有冷却液管道(211、213、217、218);所述气体连接板(216)上设置有若干气体接口(202、203、206)、测量仪安装窗口(205)以及与所述冷却液管道(211、213、217、218)连通的冷却液进出口(201、207),且所述气体喷射板(210)、气体分布板(212、214、215)、气体连接板(216)叠加在一起后形成若干相互独立的气体通道(303c、307c、305c),该气体通道包括第一前体气体通道(307)、第二前体气体通道(303)和载气通道(305);所述气体喷射板(210)的上侧面、气体连接板(216)的下侧面以及各气体分布板(212、214、215)的上、下侧面均设有用于容纳冷却液管道 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:罗才旺,魏唯,陈特超,罗宏洋,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所,
类型:发明
国别省市:
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