【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种曝光机用空冷系统,其特征在于:包括有压缩机、水箱以及至少一蒸发器;该压缩机的出气口连接水箱的进气口,该水箱的出气口连接蒸发器的进气口,该蒸发器的出气口连接压缩机的进气口;以及,该水箱的出气口到蒸发器的进气口之间依序设置有过滤器、第一电磁阀和膨胀阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汤池萌,
申请(专利权)人:东莞市光纪光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。