一种曝光装置及其曝光方法制造方法及图纸

技术编号:9197611 阅读:131 留言:0更新日期:2013-09-26 01:53
本发明专利技术实施例提供了一种曝光装置及其曝光方法,涉及显示技术领域,可以节约曝光工艺的时间,提高产能。所述曝光装置包括曝光灯、掩膜板和打标设备;所述打标设备包括:设置在所述掩膜板上的导轨架,设置在所述导轨架上的至少一个打标车;还包括控制器,所述控制器用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置,并控制所述打标车处于相应的打标位置,显示相应的打标标识。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种曝光装置,其特征在于,包括曝光灯、掩膜板和打标设备;所述打标设备包括:导轨架,所述导轨架设置在所述掩膜板上;至少一个打标车,所述打标车设置在所述导轨架上;控制器,用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置,并控制所述打标车处于相应的打标位置,显示相应的打标标识。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马海涛赵海生
申请(专利权)人:北京京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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