【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电力用半导体装置,包括设置有电力用半导体元件的元件部、以及设置在所述元件部的周围的终端部,该电力用半导体装置的特征在于,具备:第1导电型的半导体基板;第2导电型的第1杂质层,设置在所述半导体基板的上表面中的所述元件部的一部分;第1导电型的第2杂质层,设置在所述第1杂质层的上表面的一部分;栅极电极,设置为经由栅极绝缘膜相接到所述第1杂质层;第1电极,设置于所述半导体基板的下表面;第2电极,设置在所述半导体基板的所述上表面上,使得至少相接于所述第1杂质层;多个第2导电型的柱层,设置在所述第2电极之下以及从所述第2电极露出的所述终端部的所述半导体基板中的、相互平行排列的多个板 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:小野昇太郎,泉泽优,大田浩史,山下浩明,
申请(专利权)人:株式会社东芝,
类型:发明
国别省市:
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