多晶硅铸锭炉热场结构制造技术

技术编号:9181946 阅读:141 留言:0更新日期:2013-09-20 04:05
本实用新型专利技术适用于多晶硅铸锭炉技术领域,提供了一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设于所述炉体内的热场箱、设于所述热场箱内的坩埚、设于所述热场箱内壁与所述坩埚外壁之间的加热器和设于所述坩埚底部的热交换平台,所述热场箱包括隔热笼和保温壳,所述保温壳包括保温侧板、保温顶板和保温底板,所述保温侧板贴合固定于所述隔热笼的内侧壁上,所述炉体底部还设有用于带动所述保温底板升降以使所述保温底板贴合密封或者脱离所述保温侧板底端开口的升降杆。其结晶生产过程中,通过控制升降杆带动保温底板下降,可使隔热笼与保温底板之间具有可使热量散发的间隙,从而使熔化后的多晶硅形成纵向温度梯度,纵向逐渐结晶,最终形成多晶硅铸锭。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设于所述炉体内的热场箱、设于所述热场箱内的坩埚、设于所述热场箱内壁与所述坩埚外壁之间的加热器和设于所述坩埚底部的热交换平台,其特征在于:所述热场箱包括隔热笼和保温壳,所述保温壳包括环绕贴合于所述隔热笼内侧壁上的保温侧板、盖合密封所述保温侧板顶端开口的保温顶板和活动设于所述保温侧板底端开口处的保温底板,所述炉体底部还设有用于带动所述保温底板升降以使所述保温底板贴合密封或者脱离所述保温侧板底端开口的升降杆。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赵海军
申请(专利权)人:深圳市石金科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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